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期刊信息
  • 中国标准连:ISSN1005-2895
  • 续出版物号: CN 33-1180/TH
  • 主管单位:轻工业杭州机电设计研究院
  • 主办单位:轻工业杭州机电设计研究院、中国轻工机械协会、中国轻工业机械总公司
  • 社  长:刘安江
  • 主  编:黄丽珍
  • 地  址:杭州市余杭区高教路970号西溪联合科技广场4-711
  • 电子邮件:qgjxzz@126.com
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高强, 宋芳.晶圆传输机器人末端执行器的结构设计[J].轻工机械,2018,36(6):15-19
晶圆传输机器人末端执行器的结构设计
Structure Design and Optimization of End Effector for Wafer Transfer Robot
  
DOI:10.3969/j.issn.1005 2895.2018.06.004
中文关键词:  晶圆传输机器人  末端执行器  UG软件  ANSYS仿真
英文关键词: